高速抽樣處理
因離子遷移現(xiàn)象導(dǎo)致的電阻值變化如以下情況:
高速抽樣處理的情況:
抽樣處理慢的情況:
高速與普通處理,檢測(cè)結(jié)果有很大偏差:
全部通道同時(shí)抽樣處理:
多個(gè)通道同時(shí)發(fā)生離子遷移現(xiàn)象的情況如下:
單一AD掃描的話,與通道數(shù)成反比例,發(fā)生通道數(shù)越多越不準(zhǔn)確。
每個(gè)通道都分別配有AD,可以同時(shí)監(jiān)測(cè)所有通道。
J-RAS的模擬電路能夠防止枝晶燒損
●設(shè)備配有電流限制電路,即便枝晶短路,也不會(huì)給樣品輸入超范圍的電力。
●高速16msec的抽樣處理,及時(shí)檢出電阻值低下,把模擬電路的偏壓輸出功率及時(shí)停止。(根據(jù)判定條件設(shè)定)
高速、多通道同時(shí)抽樣,J-RAS能夠大量數(shù)據(jù)并行處理。
簡(jiǎn)而言之,J-RAS設(shè)備的高速、多通道并行處理,能夠更可靠的檢測(cè)出遷移現(xiàn)象。